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扫描振镜系统

       扫描振镜系统由光学扫描仪和伺服控制组成。半导体激光器附件,是由某些半导体材料作为工作物质产生的激发作用。半导体材料能量带与杂质能量级之间,通过激发非平衡载流子,使粒子数目发生逆转(电注入、光泵或高能电子束注入),产生光的激发效应。气态激光附件,用的工作物质是气体。依据实际在气体中产生的粒子的性质,可以进一步区分为原子气体激光附件、离子气体激光附件、分子气体激光附件和准分子气体激光附件。液体激光配件,该激光配件所用的工作物质主要有两种,一种是有机荧光染料溶液,另一种是含稀土金属离子的无机化合物溶液,其中金属离子(如Nd)起着颗粒的作用,而无机化合物液体(如SeOCl)则是基体。扫描振镜系统采用新技术、新材料、新工艺、新原理进行设计制造。

       扫描器用动磁偏转伺服电机。其优点是扫描角大,峰值扭矩大,负载惯量大,机电时间常数小,速度快,稳定可靠。高精度轴承间隙消除机构提供超底轴和径向跳动误差。用电子转矩杆代替传统的弹性材料力矩棒,极大地提高了使用寿命和长期工作的可靠性;零功率(指物体在单位时间的工作量)在任何地方仍能工作,不但降低了功耗,而且降低了设备的加热效果,节约了恒温装置;具有高稳定性、高精度定位、高线性、高分辨率、高重复性、低漂移等特点。气态激光附件,用的工作物质是气体。依据实际在气体中产生的粒子的性质,可以进一步区分为原子气体激光附件、离子气体激光附件、分子气体激光附件和准分子气体激光附件。

       光学扫描分为X扫描系统和Y扫描系统,其中激光扫描振镜镜固定于各伺服电机轴。气态激光附件,用的工作物质是气体。依据气体中实际产生的颗粒的性质,可以进一步区分为原子气体激光附件、离子气体激光附件、分子气体激光附件、准分子气体激光附件。